工業(yè)型原子力顯微鏡是利用檢測樣品表面與細微的探針之間的相互作用力(原子力)測出表面的形貌。將一個對微弱力極敏感的微懸臂一端固定，另一端有一微小的針尖，針尖與樣品表面輕輕接觸，由于針尖原子與樣品表面原子間存在極微弱的作用力，通過在掃描時控制這種力的恒定，帶有針尖的微懸臂將對應(yīng)于針尖與樣品表面原子間作用力的等位面而在垂直于樣品的表面方向起伏運動。利用光學(xué)檢測法或隧道電流檢測法，可測得微懸臂對應(yīng)于掃描各點的位置變化，從而可以獲得樣品表面形貌的信息。

    工業(yè)型原子力顯微鏡是顯微鏡中的一種類型，應(yīng)用范圍十分廣泛：

    1、評估晶片處理前后的差異(SiO2, GaAs, SiGe等)；

    2、確定生物醫(yī)學(xué)設(shè)備的處理效果(例如電漿處理)，如隱形眼鏡、導(dǎo)管和涂層支架；

    3、檢查表面粗糙度對附著力的影響；

    4、評估圖案晶圓的溝槽形狀與清潔度；

    5、檢查形態(tài)是否是表面陰霾的來源。